1200C Sistema PECVD de tres zones de calefacció
1200C Sistema PECVD de tres zones de calefacció

1200C Sistema PECVD de tres zones de calefacció

SK2-CVD-12TPB4 és un forn de tubs per al sistema PECVD, que consta d'una font d'alimentació de RF de 300 W o 500 W, un sistema de flux de precisió multicanal, un sistema de buit i un forn de tubs. La temperatura que s'utilitza habitualment és de 1100 graus centígrads o inferior, i les seves característiques principals són la baixa temperatura de deposició, la velocitat ràpida, la bona qualitat de la pel·lícula, menys forats i menys propens a esquerdes. Un dispositiu ideal per fer créixer nanocables o preparar diverses pel·lícules primes mitjançant el mètode CVD.
Enviar la consulta
Característica

 

● Temperatura màxima RT-1200 graus

● Dividir el tipus de forn, podeu obrir el forn.

● Pot introduir més de 2 canals de gas, amb un grau de buit de 10 Pa mitjançant una bomba mecànica i una font d'alimentació de RF de 500 W per millorar el senyal.

● Materials d'aïllament de fibra ceràmica d'alúmina d'alta qualitat

● Precisió de control de temperatura ±1 grau

● Amb funció d'alarma de sobretemperatura

● El ventilador de refrigeració pot reduir la temperatura de la carcassa

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Dimensions: Longitud de la zona de calefacció estàndard (mm)

440 mm

Dimensions: Diàmetre estàndard del tub (mm)

∮60 mm

Temperatura màxima

1200 graus, temperatura de treball contínua 1100 graus.

Tensió (V)

220 1P

Tipus de termoparell

K

Element de calefacció

Filferro de resistència d'aliatge HRE

Temp.Precisió

±1 grau

Taxa de calefacció

Ajust lliure de 0-30 graus/min

Material de cambra

Utilitzant material avançat de fibra microcristal·lina d'alúmina d'alta qualitat

Estructura del forn

Estructura refrigerada per aire de doble capa, la temperatura superficial és inferior a 60 graus

Controlador de temperatura

Instrument de control de temperatura PID intel·ligent, 30 segments de programa, control SSR, funció d'autoajust de paràmetres PID; programa augment de temperatura, programa conservació de calor, programa refrigeració

Font d'alimentació RF de 500 W

Potència de sortida: 5-500W ±1 grau

Freqüència de RF: 13,56 MHz ±0,005%

Potència reflectida: fins a 100 W

Coincidència: automàtica

Interfície RF: 50Ω, tipus N

Refrigeració: refrigeració per aire

Font d'alimentació: AC 208-240V, 50/60HZ

Sistema de flux de precisió de 4 canals de gas

1. Caudal a escala completa (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min.

2. Tipus de vàlvula: vàlvula Solenold.

3. Posició de repòs de la vàlvula: Normalment tancada.

4. Pressió diferencial: (50-300)kpa

5. Resistència a la pressió: 3mpa.

6. Temperatura de funcionament: 5-45 graus

7. Materials: acer inoxidable 316L.

Sistema de buit

5*10-3Pa

Connexió ràpida KF25, manxa d'acer inoxidable, vàlvula manual i brida, bomba de buit

Els sistemes de buit superior també es poden equipar opcionalment.

image001

BENVINGUTS OEM/ODM

 

Accessoris estàndard

 

Guants tèrmics|Ganxo de gresol|Termoparell|Bloc de tubs|Manual d'usuari |Eines|Bomba de buit| Tub de quars|Brida|Anell de segellat|Mànega de gas de 10 mm|Suport de brida, Sistema de gas, potència RF.

 

Opcional

 

Zona de calefacció diferent per a la vostra elecció;

Control de pantalla tàctil LCD per triar

Port RS485/USB per connectar l'ordinador per triar.

 

Imatge de detall per CVD-PECVD

 

image003
Font d'alimentació RF de 500 W
image005
Sistema de buit
image007
Sistema de flux de precisió de 4 canals de gas

 

Aplicació

 

Aquest dispositiu s'utilitza principalment per fer créixer nanofills o preparar diversos creixements de pel·lícula prima mitjançant el mètode CVD.

 

Garantia

 

Un any de garantia i suport tècnic de per vida

Consells especials:

1. Els consumibles com l'element calefactor, el tub de quars, el gresol de mostra, etc. no estan dins del període de garantia.

2. Els danys causats per l'ús de gas corrosiu i gas àcid no estan coberts per la garantia.

 

Etiquetes populars: Sistema pecvd de tres zones de calefacció 1200c, fabricants de sistemes pecvd de tres zones de calefacció de la Xina 1200c, proveïdors